发明名称 PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08153679(A) 申请公布日期 1996.06.11
申请号 JP19940294498 申请日期 1994.11.29
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP;ASAHI GLASS CO LTD 发明人 KINOSHITA YOSHIMI;YOSHIDA KAZUO;KITANO KATSUHISA;KAWAMOTO AKIRA;HAYAMA MASAHIRO;OGURA MASAHISA
分类号 C23C16/50;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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