| 发明名称 |
FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08153879(A) |
申请公布日期 |
1996.06.11 |
| 申请号 |
JP19940315475 |
申请日期 |
1994.11.26 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD;SHARP CORP |
发明人 |
YAMAMOTO YOSHITAKA;SUZAWA HIDEOMI;AWANE KATSUTERU;FUNADA FUMIAKI;YAMAZAKI SHUNPEI |
| 分类号 |
C23F4/00;C30B1/00;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/334;H01L21/336;H01L27/13;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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