发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08153715(A) 申请公布日期 1996.06.11
申请号 JP19940293435 申请日期 1994.11.28
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 OZEKI KAZUYUKI
分类号 H01L21/316;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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