发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH08153880(A) 申请公布日期 1996.06.11
申请号 JP19950240337 申请日期 1995.09.19
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SHIGYO NAOYUKI;TODA TOSHIYUKI
分类号 H01L21/336;H01L21/84;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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