| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08153688(A) |
申请公布日期 |
1996.06.11 |
| 申请号 |
JP19950084501 |
申请日期 |
1995.03.17 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
MIZUSHIMA ICHIRO;MITANI YUICHIRO;KANBAYASHI SHIGERU;KASHIWAGI MASAHIRO;NISHINO HIROTAKE |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/336;H01L21/8238;H01L29/08;H01L29/417;H01L29/45;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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