| 发明名称 |
LOCKING MECHANISM OF SUBSTRATE SCRUBBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08150380(A) |
申请公布日期 |
1996.06.11 |
| 申请号 |
JP19940321424 |
申请日期 |
1994.11.29 |
| 申请人 |
M SETETSUKU KK |
发明人 |
SAITO HIROYUKI;ITO TAKASHI;KINAMI HARUYUKI;KONAKA TOSHINORI;MURAI TAKESHI |
| 分类号 |
B08B7/04;B23Q3/06;H01L21/304;(IPC1-7):B08B7/04 |
主分类号 |
B08B7/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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