| 发明名称 |
Fremgangsmåde til fremstilling af tynde film af uorganiske oxider med kontrolleret støkiometri |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DK0630422(T3) |
申请公布日期 |
1996.06.10 |
| 申请号 |
DK19930912066T |
申请日期 |
1993.03.10 |
| 申请人 |
E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY |
发明人 |
FACE, DEAN, WILLETT |
| 分类号 |
C01B13/14;C01G1/00;C01G15/00;C23C14/00;C23C14/08;C23C16/40;C30B29/22;H01B13/00;H01L39/24;(IPC1-7):C23C14/08 |
主分类号 |
C01B13/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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