发明名称 METHOD OF DETERMINATION OF PARAMETERS OF TRAPS IN SEMICONDUCTOR MATERIALS
摘要
申请公布号 RU1385938(C) 申请公布日期 1996.06.10
申请号 SU19853889265 申请日期 1985.04.22
申请人 ILICHEV E.A.;MASLOBOEV YU.P.;POLTORATSKIJ E.A. 发明人 ILICHEV E.A.;MASLOBOEV YU.P.;POLTORATSKIJ E.A.
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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