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发明名称 SUBSTRATE HOLDING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08152587(A) 申请公布日期 1996.06.11
申请号 JP19940319065 申请日期 1994.11.29
申请人 NIKON CORP 发明人 ARAI YOICHI
分类号 G02B21/26;G02F1/13;G02F1/1333;(IPC1-7):G02F1/13;G02F1/133 主分类号 G02B21/26
代理机构 代理人
主权项
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