发明名称 MANUFACTURE OF SELF-ALIGNED T-GATE GALLIUM ARSENIDE METAL SEMICONDUCTOR FIELD-EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH08148507(A) 申请公布日期 1996.06.07
申请号 JP19940315387 申请日期 1994.12.19
申请人 KANKOKU DENSHI TSUSHIN KENKYUSHO 发明人 RI KEIKOU;BEI INKEI;KATA HIROKI;KIN KEISHIYU
分类号 H01L29/812;H01L21/285;H01L21/335;H01L21/338;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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