| 发明名称 |
SUBSTRATE PROCESSING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08145300(A) |
申请公布日期 |
1996.06.07 |
| 申请号 |
JP19940283672 |
申请日期 |
1994.11.17 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
SUGIMOTO KENJI;INOUE HIDEKAZU |
| 分类号 |
G02F1/13;B05C11/08;F17D3/01;G02F1/1333;H01L21/027;H01L21/304;(IPC1-7):F17D3/01;G02F1/133 |
主分类号 |
G02F1/13 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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