发明名称 |
POWER MEASURING DEVICE OF SCANNING LASER BEAM |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH08145790(A) |
申请公布日期 |
1996.06.07 |
申请号 |
JP19940286834 |
申请日期 |
1994.11.21 |
申请人 |
HITACHI ELECTRON SERVICE CO LTD |
发明人 |
KURATA MASAHIKO;SATO ISAMU |
分类号 |
G01J1/02;G01J1/42;(IPC1-7):G01J1/42 |
主分类号 |
G01J1/02 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|