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发明名称 PLASMA TREATMENT METHOD AND PLASMA APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH08148436(A) 申请公布日期 1996.06.07
申请号 JP19940286843 申请日期 1994.11.21
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 ARAI HIROKAZU
分类号 H05H1/46;C23C14/56;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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