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发明名称
ELECTRODE FOR ION SOURCE AND ION SOURCE USING IT
摘要
申请公布号
JPH08148107(A)
申请公布日期
1996.06.07
申请号
JP19940312748
申请日期
1994.11.22
申请人
NISSIN ELECTRIC CO LTD
发明人
ANDO YASUNORI
分类号
H01J27/16;H01J37/08;(IPC1-7):H01J37/08
主分类号
H01J27/16
代理机构
代理人
主权项
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