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发明名称 EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08146614(A) 申请公布日期 1996.06.07
申请号 JP19940312457 申请日期 1994.11.22
申请人 NIPPON SEIKO KK 发明人 MIYASHITA MASAHIRO;OKAYA HIDEKI;NAKANO TAKAHIRO;KURAMOCHI MICHIHIRO;ITO TAKAO;AIHARA TOSHIYUKI
分类号 G03B27/02;G03B27/06;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03B27/02
代理机构 代理人
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