| 发明名称 |
SUBSTRATE PROCESSING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08148465(A) |
申请公布日期 |
1996.06.07 |
| 申请号 |
JP19940282274 |
申请日期 |
1994.11.16 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
MURAOKA YUSUKE |
| 分类号 |
B08B3/04;F26B19/00;F26B21/00;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B08B3/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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