| 发明名称 |
WAFER DRYER WITH ROTOR AUTOMATIC CHANGE-OVER MACHINE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08145566(A) |
申请公布日期 |
1996.06.07 |
| 申请号 |
JP19940284629 |
申请日期 |
1994.11.18 |
| 申请人 |
MIYAZAKI OKI ELECTRIC CO LTD;OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
YAMAMOTO YUICHI |
| 分类号 |
F26B11/08;F26B25/00;H01L21/304;(IPC1-7):F26B25/00 |
主分类号 |
F26B11/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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