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发明名称 SURFACE SHAPE AND STATE ANALYSER
摘要
申请公布号 JPH08146017(A) 申请公布日期 1996.06.07
申请号 JP19940312353 申请日期 1994.11.24
申请人 NEC CORP 发明人 YOSHIDA MEGUMI
分类号 G01B21/30;G01N37/00;G01Q30/04;G01Q90/00;H01J37/28;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
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