发明名称 PROTECTOR AND STOCKING METHOD OF PROBE CARD FOR MEASURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH08148535(A) 申请公布日期 1996.06.07
申请号 JP19940307032 申请日期 1994.11.15
申请人 SONY CORP 发明人 NAGASAKI KENICHI
分类号 G01R1/06;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
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