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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08146095(A) 申请公布日期 1996.06.07
申请号 JP19940309432 申请日期 1994.11.21
申请人 HITACHI LTD;HITACHI MICROCOMPUT SYST LTD 发明人 KATO KEI;OGUCHI SATOSHI;ONO TAKESHI
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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