发明名称 SCANNING TYPE PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH08146013(A) 申请公布日期 1996.06.07
申请号 JP19940284718 申请日期 1994.11.18
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 MARUNO HIROMASA
分类号 G01B21/30;G01N37/00;G01Q70/02;G01Q90/00;H01J37/28;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
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