发明名称 METHOD AND DEVICE FOR MEASURING SURFACE POTENTIAL
摘要
申请公布号 JPH08146065(A) 申请公布日期 1996.06.07
申请号 JP19940286192 申请日期 1994.11.21
申请人 RICOH CO LTD 发明人 OHASHI MIKIO;KIMURA TAKASHI
分类号 G01R29/12;H01L21/66;H01L41/09;(IPC1-7):G01R29/12 主分类号 G01R29/12
代理机构 代理人
主权项
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