发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH08148553(A) 申请公布日期 1996.06.07
申请号 JP19940287735 申请日期 1994.11.22
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 KOBAYASHI TAKESHI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/76;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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