DEVICE AND PROCESS FOR DETERMINING GASEOUS COMPONENTS OF GAS MIXTURES

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur kontinuierlichen Bestimmung der Konzentration zumindest eines gasförmigen Bestandteils von sauerstoffaufweisenden Gasgemischen mit mindestens zwei auf einem gemeinsamen Träger angeordneten, auf verschiedene gasförmige Bestandteile des Gasgemisches ansprechenden Sensoren, von denen jeder elektrochemische Halbzellen mit einem als Festelektrolyt ausgebildeten, sauerstoffionenleitenden Material, z.B. Yttrium-stabilisierten Zirkondioxid, sowie mit vorzugsweise metall- und/oder metalloxid-haltigen Elektroden als dünne Schichten aufweist, wobei durch die zwei Elektroden jedes Sensors ein von der Konzentration des von diesem gemessenen gasförmigen Bestandteil abhängiges elektrisches Messsignal erzeugt wird und wobei der Träger ferner ggfls. mit einer elektrischen Heizung versehen ist, wobei für das Gasgemisch ein von einer Einströmöffnung sich in einer Längenrichtung erstreckender, eine Diffusionsbarriere aufweisender Diffusionskanal vorgesehen ist, in dessen Längenrichtung nach der Einströmöffnung ein auf den gasförmigen Bestandteil Sauerstoff ansprechender, amperometrisch wirkender erster Sensor und zumindest ein auf einen anderen gasförmigen Bestandteil als Sauerstoff ansprechender zweiter Sensor angeordnet ist und wobei die eine der beiden Elektroden jedes Sensors als innere Elektrode nur in dem Diffusionskanal und die andere Elektrode ausserhalb desselben angeordnet ist.