| 摘要 |
<p>Die Erfindung bezieht sich auf ein Lecksuchgerät mit einer als Reibungsvakuumpumpe (11) ausgebildeten Hochvakuumpumpe und zwei weiteren gegen den Atmosphärendruck arbeitenden Vakuumpumpen (21, 31). Um Kohlenwasserstoff-Verunreinigungen im Bereich eines Prüflings (42) und/oder einer Prüfkammer (43) zu vermeiden, wird vorgeschlagen, daß beide weiteren Vakuumpumpen (21, 31) trocken verdichtende Vakuumpumpen sind.</p> |
