发明名称 Herstellen von einer selektiv niedergeschlagenen Schicht mit Anwendung von Alkylaluminiumhydrid
摘要
申请公布号 DE69026783(D1) 申请公布日期 1996.06.05
申请号 DE1990626783 申请日期 1990.09.25
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MIKOSHIBA, NOBUO, SENDAI-SHI, MIYAGI-KEN, JP;TSUBOUCHI, KAZUO, SENDAI-SHI, MIYAGI-KEN, JP;MASU, KAZUYA, SENDAI-SHI, MIYAGI-KEN, JP
分类号 C23C16/20;C23C14/34;C23C16/02;C23C16/04;C23C16/18;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/320;H01L21/768 主分类号 C23C16/20
代理机构 代理人
主权项
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