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发明名称 Vorrichtung zur Herstellung einer Siliziumoxydschicht
摘要
申请公布号 DE3854871(T2) 申请公布日期 1996.06.05
申请号 DE19883854871T 申请日期 1988.02.15
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MATSUMOTO, SHIGEYUKI, ATSUGI-SHI KANAGAWA-KEN, JP
分类号 H01L21/31;C23C8/10;C23C16/455;(IPC1-7):C23C8/10 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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