发明名称 SULFURIC ACID COMPOSITION HAVING LOW SURFACE TENSION
摘要
申请公布号 EP0416126(B1) 申请公布日期 1996.06.05
申请号 EP19900904682 申请日期 1990.03.15
申请人 NISSAN CHEMICAL INDUSTRIES LTD.;KANTO KAGAKU KABUSHIKI KAISHA 发明人 MORI, K;SHIHOYA, T;HARA, HISAO
分类号 C09K13/08;C09D9/00;C11D1/00;C23F1/16;C23G1/02;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):C23F1/24 主分类号 C09K13/08
代理机构 代理人
主权项
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