发明名称 SAFETY APPARATUS AND OPERATING METHOD OF IC HANDLER
摘要
申请公布号 KR960007506(B1) 申请公布日期 1996.06.05
申请号 KR19960000786 申请日期 1996.01.17
申请人 ADVANTEST K.K. 发明人 SUZUKI, GENPEI;NAKAMURA, HIROTO;IGARASHI, NORIYUKI;GOZIMA, KATSUMI;GOZIMA, AKIO;KIYOKAWA, TOSHIYUKI;HAYAMA, HISAO
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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