发明名称 METHOD FOR GROWING SILICON CARBIDE SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH08143396(A) 申请公布日期 1996.06.04
申请号 JP19940286956 申请日期 1994.11.21
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 TAKAHASHI ATSUSHI;OTANI NOBORU;KATSUNO MASAKAZU
分类号 C30B23/00;C30B29/36;H01L21/203;(IPC1-7):C30B29/36 主分类号 C30B23/00
代理机构 代理人
主权项
地址