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发明名称 STRUTTURA PER DEPOSIZIONE REATTIVA DI METALLI IN IMPIANTI DA VUOTO CONTINUI E RELATIVO PROCESSO.
摘要
申请公布号 IT1261918(B) 申请公布日期 1996.06.04
申请号 IT1993RM00385 申请日期 1993.06.11
申请人 CE.TE.V. CENTRO TECNOLOGIE DEL VUOTO 发明人 MISIANO CARLO;SIMONETTI ENRICO
分类号 C23C14/56;(IPC1-7):C23C 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
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