| 发明名称 |
PREPARATION OF SEMICONDUCTOR THIN FILM OF DEFECTLESS COMPOUND ON DIELECTRIC THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08143398(A) |
申请公布日期 |
1996.06.04 |
| 申请号 |
JP19940299731 |
申请日期 |
1994.12.02 |
| 申请人 |
KANKOKU DENSHI TSUSHIN KENKYUSHO |
发明人 |
RI BAN;IN YOSHIHIDE;HAKU SHIYUUKIYOU |
| 分类号 |
C30B29/42;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/316;H01L27/12;(IPC1-7):C30B29/42 |
主分类号 |
C30B29/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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