发明名称 CRYSTAL GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPH08143389(A) 申请公布日期 1996.06.04
申请号 JP19950030917 申请日期 1995.02.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKAJIMA KAZUO;SUZUKI TAKASHI;KUSUKI TOSHIHIRO
分类号 C30B13/08;C30B27/00;C30B29/40;C30B29/48;C30B29/52;H01L21/208;(IPC1-7):C30B13/08 主分类号 C30B13/08
代理机构 代理人
主权项
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