发明名称 ROTARY CUP TYPE LIQUID SUPPLY DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08141476(A) 申请公布日期 1996.06.04
申请号 JP19940285677 申请日期 1994.11.18
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO LTD 发明人 FUJIYAMA SHIGEMI;YAMAGUCHI KAZUNOBU;SAGO HIROHITO
分类号 B05C11/08;H01L21/027;H01L21/316;H01L21/683;(IPC1-7):B05C11/08 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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