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发明名称 PLASMA CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08144060(A) 申请公布日期 1996.06.04
申请号 JP19940291393 申请日期 1994.11.25
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 ISHIKAWA MICHIO;ITO KAZUYUKI;HASHIMOTO YUKINORI;TOGAWA ATSUSHI;YONEZAKI TAKESHI;TANI NORIAKI;NAKAMURA KYUZO
分类号 C23C16/24;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/24
代理机构 代理人
主权项
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