发明名称 PRODUCTION OF THIN CUBIC CRYSTAL BORON NITRIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH08144049(A) 申请公布日期 1996.06.04
申请号 JP19950146610 申请日期 1995.06.13
申请人 MIYAKE MASAJI 发明人 MIYAKE MASAJI
分类号 C23C14/06;C23C14/22;(IPC1-7):C23C14/22 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
地址