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发明名称 WAFER TRANSFER DEVICE
摘要
申请公布号 KR960004616(Y1) 申请公布日期 1996.06.03
申请号 KR19920009916U 申请日期 1992.06.05
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO., LTD. 发明人 KIM, HAK - RYUL;INN, JAE - SIK;CHO, WOONG - RAE;PARK, SANG - HOON
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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