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发明名称 INSPECTION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH08136580(A) 申请公布日期 1996.05.31
申请号 JP19940293947 申请日期 1994.11.02
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TERU ENG KK 发明人 IINO SHINJI
分类号 G01R31/26;G01R1/06;H01L21/66;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):G01R1/06 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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