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经营范围
发明名称
SEPARATION OF DEVICES
摘要
申请公布号
JPH08139173(A)
申请公布日期
1996.05.31
申请号
JP19940278686
申请日期
1994.11.14
申请人
FUJITSU LTD
发明人
AIZAWA KATSUAKI
分类号
H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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