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发明名称 HIGH FREQUENCY SHIELD HEATER
摘要
申请公布号 JPH08139039(A) 申请公布日期 1996.05.31
申请号 JP19940300290 申请日期 1994.11.09
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD 发明人 OYAMA KATSUMI
分类号 H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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