发明名称 SURFACE FINISH METHOD
摘要
申请公布号 JPH08138544(A) 申请公布日期 1996.05.31
申请号 JP19940302854 申请日期 1994.11.12
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 MIYAJI HIROYOSHI;SHIMADA SHOICHI;NISHIKUBO HIROAKI;OOTO MITSURU
分类号 C23F1/00;H01J9/14;H05K3/06;(IPC1-7):H01J9/14 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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