发明名称 INTERATOMIC FORCE MICROSCOPE AND SIMILAR SCANNING PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH08136552(A) 申请公布日期 1996.05.31
申请号 JP19940270879 申请日期 1994.11.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 AOKI KAZUO;HAZAKI EIICHI
分类号 G01B21/30;G01N37/00;G01Q30/18;G01Q60/24;G01Q90/00;H01J37/28;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利