发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08139083(A) 申请公布日期 1996.05.31
申请号 JP19940272104 申请日期 1994.11.07
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 UMEDA KOJI
分类号 H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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