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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH08139083(A)
申请公布日期
1996.05.31
申请号
JP19940272104
申请日期
1994.11.07
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
UMEDA KOJI
分类号
H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
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