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发明名称 FORMATION OF WIRING LAYER AND DEVICE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH08139091(A) 申请公布日期 1996.05.31
申请号 JP19940300181 申请日期 1994.11.10
申请人 NEC CORP 发明人 FURUYA AKIRA
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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