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发明名称
VERTICAL VAPOR GROWTH EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPH08139028(A)
申请公布日期
1996.05.31
申请号
JP19940271094
申请日期
1994.11.04
申请人
RICOH CO LTD
发明人
SATO SHUNICHI
分类号
C30B25/12;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
C30B25/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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