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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT CONTROL METHOD
摘要
申请公布号 JPH08139277(A) 申请公布日期 1996.05.31
申请号 JP19940272584 申请日期 1994.11.07
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YAMAGUCHI KENTARO
分类号 H01L21/822;H01L23/58;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
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