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发明名称 WAFER TEMPERATURE CONTROL DEVICE AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS USING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH08139008(A) 申请公布日期 1996.05.31
申请号 JP19940302628 申请日期 1994.11.14
申请人 SONY CORP 发明人 KUSANO YASUSHI
分类号 G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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