| 发明名称 |
SURFACE TREATMENT METHOD OF SILICON SUBSTRATE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH08138986(A) |
申请公布日期 |
1996.05.31 |
| 申请号 |
JP19950113104 |
申请日期 |
1995.05.11 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
HONMA YOSHIKAZU;OGINO TOSHIRO |
| 分类号 |
H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
