发明名称 CONFOCAL POINT POSITION MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08136248(A) 申请公布日期 1996.05.31
申请号 JP19940273703 申请日期 1994.11.08
申请人 IDEC IZUMI CORP 发明人 OKAMOTO AKITO;YOKOYAMA SHIYUUKO
分类号 G01B9/04;G01B11/00;G01C3/06;(IPC1-7):G01C3/06 主分类号 G01B9/04
代理机构 代理人
主权项
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