发明名称 |
CONFOCAL POINT POSITION MEASURING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH08136248(A) |
申请公布日期 |
1996.05.31 |
申请号 |
JP19940273703 |
申请日期 |
1994.11.08 |
申请人 |
IDEC IZUMI CORP |
发明人 |
OKAMOTO AKITO;YOKOYAMA SHIYUUKO |
分类号 |
G01B9/04;G01B11/00;G01C3/06;(IPC1-7):G01C3/06 |
主分类号 |
G01B9/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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