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发明名称 WAFER TURN-OVER BASE HAVING CLEANING FUNCTION ARRANGED ON A WAFER POLISHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08139058(A) 申请公布日期 1996.05.31
申请号 JP19940303028 申请日期 1994.11.11
申请人 SHIBAYAMA KIKAI KK 发明人 KOBAYASHI KAZUO
分类号 B23Q3/02;H01L21/301;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B23Q3/02
代理机构 代理人
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